COMPONENT SIDE 模块（以 AMAT 公司产品为例，全称为 AMAT COMPONENT SIDE），作为工业控制、半导体制造等多领域关键组件，由知名厂商如 Applied Materials（AMAT）精心打造。在不同行业应用中，它都承担着核心功能，助力各类设备实现高效、精准运行。
二、产品描述
（一）功能特性
- 高精度运动控制：在半导体制造设备里，COMPONENT SIDE 模块采用先进的纳米级定位技术，实现对晶圆传输、对准及处理的超高精度控制，偏差可控制在 ±0.1μm 以内 。在晶圆光刻环节，精准定位晶圆位置，确保光刻图案准确无误地转移到晶圆上，为生产高集成度、高性能的芯片奠定基础 。
