AE APEX3013 3156114 - 746 模块是 Advanced Energy（AE）公司推出的一款专业射频发生器模块，主要应用于对射频能量有精确需求的工业及科研领域，如半导体制造、等离子体处理、材料表面改性等。该模块能够产生稳定且精准的射频信号，为相关工艺提供所需的能量输入。
在半导体制造环节，可用于刻蚀、沉积等工艺步骤，通过精确控制射频功率，确保芯片制造过程中对材料的精细加工，保证芯片的性能与质量；在等离子体处理中，能激发产生等离子体，用于材料的清洗、涂层等处理，其稳定的射频输出有助于实现均匀的等离子体环境，提升处理效果的一致性。
该模块采用先进的电路设计与制造工艺，具备高度集成化的特点，内部电路布局紧凑合理，在较小的空间内集成了众多功能单元，减少了模块体积的同时，提升了系统的稳定性与可靠性。拥有高效的功率转换系统，可将输入电能高效地转换为射频能量输出，降低能量损耗，提高能源利用效率。同时，配备了精准的射频信号调节与控制系统，能够对输出射频信号的频率、功率等关键参数进行精确调节与稳定控制，以满足不同应用场景的严格要求。
产品参数
- 输出功率：额定输出功率可达 3000W，可满足多种对射频能量需求较高的应用场景，并且能够在一定范围内根据实际工艺需求进行功率调节 。
- 频率：工作频率为 13.56MHz，这一频率在工业射频应用领域较为常见，适用于多种等离子体工艺及相关设备 。
