应用材料（Applied Materials）0190 - 72680 电容式压力计模块
产品描述
应用材料 0190 - 72680 电容式压力计模块，主要用于精准测量气体压力，在半导体制造、真空镀膜、科研实验等对压力控制精度要求严苛的领域广泛应用。它通过检测电容变化来测量压力，这种测量方式具有极高的灵敏度和稳定性。在半导体芯片制造的刻蚀环节，需精确控制反应腔室的压力，0190 - 72680 模块可实时、精准地反馈压力数值，确保刻蚀过程稳定进行，保障芯片制造的良品率。
该模块测量量程为 0 至 10 托（Torr），能满足中低真空度环境下的压力测量需求。它具备出色的抗干扰能力，可在复杂的工业电磁环境以及有一定机械振动的工况下稳定工作，降低外界因素对测量结果的影响。模块的响应速度快，能够快速捕捉压力的动态变化，及时将数据传输至控制系统，以便迅速做出调整 。
产品参数
- 测量参数
- 测量量程：0 - 10 Torr 。
- 精度：推测具备较高精度，具体精度数值可参考产品手册（部分类似产品精度可达满量程的 ±0.1% - ±0.5%） 。
- 分辨率：高分辨率，可精准分辨压力的细微变化（实际分辨率依产品设计而定） 。
- 电气参数
- 工作电压：需参考产品手册确定，常见类似模块可能为 24V DC（±10%） 。
- 输出信号类型：可能为模拟信号（如 4 - 20mA 电流信号或 0 - 5V、0 - 10V 电压信号）或数字信号（如 RS485、Modbus 等通信协议输出） 。
- 环境参数
- 工作温度范围：推测为 0℃至 50℃（参考部分工业传感器温度范围，实际以产品手册为准） 。
- 存储温度范围：-20℃至 70℃（具体依产品手册确定） 。
