MKS RPS AX7695远程等离子体源

产品描述：

• MKS RPS AX7695模块是一款远程等离子体源，主要用于半导体晶圆加工。
• 它提供半导体晶圆加工所需的活性气体。
• AX7695集成了石英真空室。

• 

• 主要作用为提供半导体晶圆加工时所需要的活性气体。
• R*evolution® III 集成远程等离子体源为半导体晶圆加工提供所需的活性气体。

产品参数和规格：

• 由于是专业的半导体加工设备，详细的技术参数需要查阅MKS官方的技术资料。
• AX7695集成了石英真空室。