INFICON MPG400 PN351 - 011 高精度质量流量控制器模块，是一款专为工业应用场景打造的关键设备，在工业生产的诸多环节中，承担着对气体流量进行精准控制与监测的重要职责。
二、产品描述
（一）功能特性
- 高精度流量控制：该模块具备卓越的流量控制能力，能够在其设定的流量范围内，实现对气体流量的高精度调节。例如，其流量范围可从 0 至 100 sccm（标准立方厘米每分钟），控制精度高达 ±1% 的读数 ±0.1 sccm 。这意味着在工业生产过程中，无论是对微小流量的精确供给，还是对较大流量的稳定调控，MPG400 PN351 - 011 都能出色完成任务。在半导体制造中，对于光刻工艺中使用的特殊气体流量，该模块能够精准控制，确保光刻过程的稳定性和产品质量的一致性。
- 真空系统泄漏检测：作为工业应用的重要组成部分，MPG400 PN351 - 011 在真空系统泄漏检测方面表现出色。它采用先进的检测技术，能够可靠且准确地探测到真空系统中的泄漏情况。在汽车制造的真空助力系统检测、半导体芯片制造的真空封装环节，通过该模块对真空系统进行实时监测，一旦出现泄漏，能够及时发现并定位问题，保障生产过程的安全性与高效性，避免因泄漏导致的产品质量问题和生产停滞。
- 快速响应与实时反馈：拥有极快的响应速度，其响应时间小于 2 秒，甚至部分资料显示小于 1 秒 。这使得在工业生产过程中，当生产工艺对气体流量需求发生变化时，模块能够迅速做出反应，及时调整气体流量。同时，它还能提供实时的流量反馈信息，让操作人员能够实时掌握气体流量的实际情况，以便对生产过程进行精准控制和调整。在化工生产中，当反应条件发生变化需要快速调整气体流量时，MPG400 PN351 - 011 能迅速响应，确保化学反应的顺利进行。
（二）技术优势
- 耐用性强：从材质选用到结构设计，都充分考虑了工业环境的严苛性。模块采用不锈钢等耐用材料制造，能够承受高温、高压、强腐蚀等恶劣工业环境。在化工、石油等行业，生产环境中常常存在腐蚀性气体和高温高压工况，MPG400 PN351 - 011 凭借其坚固耐用的特性，可长期稳定运行，减少设备故障频率，降低维护成本。
- 通信便捷：配备 RS - 485 Modbus RTU 通信接口
